반도체, LCD 공정에서 GAS 혹은 Chemical를 소량 사용 할 경우 배관라인을 구성하지 않고 개별공정마다 사진의 드럼을 수작업으로 플러그를 체결하여 공급하고 있음 본 설비는 위험한 유해성 물질을 수작업에 의존하던 것을 자동화 한 장치임 Specification - 로봇 및 주행장치 - 비젼시스템(플라스틱 드럼의 변형과 뚜껑의 변형량을 보정함) - 3D 플로팅 핸드(±0.2mm 대응)
ACQC 체결 자동화
AUTO CLEAN QUICK COUPLER 반도체, LCD공정에서 대량 사용되는 가스 혹은 Chemical은 메인 배관을 경유해서 전공정으로 공급시킴 탱크롤리 차량을 이용하여 메인배관 라인에 플러그를 체결하여 공급시키고 있음 본 설비는 위험한 유해성 물질을 수작업에 의존하던 것을 자동화 한 장치임 Specification - 전용 주행 장치 - 3D 플로팅 핸드(±0.2mm 대응)